Ausschreibung
Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS
Beschreibung
Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
Dossier: Zuschlagskriterien, Eignung, Checkliste — mit Konto
Mit einem Konto liest Zuschlagsreif die Vergabeunterlagen dieses Verfahrens und erstellt daraus ein Dossier: Zuschlagskriterien mit Gewichtung, Eignungsanforderungen, Zeitplan und eine Checkliste der einzureichenden Unterlagen.
Dossier ansehenAngaben aus der Bekanntmachung
- Auftraggeber
- Ruhr-Universität Bochum
- Ort
- Bochum
- Bundesland
- Nordrhein-Westfalen
- CPV
- 38000000 — Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
- Verfahrensart
- Wettbewerblicher Dialog
- Veröffentlicht
- 13.08.2026
- Teilnahmefrist
- 14.09.2026, 12:00
- Vergabenummer
- c859db0a-fabf-43ac-b7eb-a242bcd86fbf
- Quelle
- ted
Lose
- Los LOT-0001
Änderungen der Bekanntmachung
- teilnahmefrist 11.09.2026
Zum Vergabeportal
Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 11.09.2026, 19:59.