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Ausschreibung

Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – ALD-Anlage

11.08.2026 Angebotsfrist · abgelaufen
461.344 € Geschätzter Wert

Beschreibung

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.

Dossier: Zuschlagskriterien, Eignung, Checkliste — mit Konto

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Angaben aus der Bekanntmachung

Auftraggeber
Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
CPV
38000000 — Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Verfahrensart
Offenes Verfahren
Veröffentlicht
08.07.2026
Angebotsfrist
11.08.2026, 23:59
Vergabenummer
57f11d62-9298-47b4-ba2c-1f6ddc1f276c
Quelle
ted

Verlauf des Verfahrens

Zum Vergabeportal

Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 11.09.2026, 18:07.