Ergebnis der Vergabe

Belgien – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – PVD toestel voor MRAM

5 Bieter
1 Los

Beschreibung

A 300mm wafer compatible, multi-chamber PVD platform designed for high throughput of magnetic tunnel junctions. Additionally, the following PVD and process chamber designs that must be supported are: 1) Multi-cathode PVD chamber 2) a pre-clean chamber to remove native oxides and other contaminants, 3) degass/annealing capability and, 4) a cryogenic stage (<100K) option in, or ex, situ of the PVD modules. Furthermore, the platform must be compatible with Front Opening Universal Pods with a 25-slot capacity, including an Equipment Front End Module and load-lock system for wafer loading. Finally, the deposition must be computer controlled and automated following defined recipes. As an optional, the platform should be compatible with automatic recipe upload from fab management software via a standardized protocol, for example SECS/GEM.

Dossier: Zuschlagskriterien, Eignung, Checkliste — mit Konto

Mit einem Konto liest Zuschlagsreif die Vergabeunterlagen dieses Verfahrens und erstellt daraus ein Dossier: Zuschlagskriterien mit Gewichtung, Eignungsanforderungen, Zeitplan und eine Checkliste der einzureichenden Unterlagen.

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Angaben aus der Bekanntmachung

Auftraggeber
Imec EU Pilot line NV
Ort
Heverlee
Bundesland
Vlaams Gewest
CPV
38000000 — Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Verfahrensart
Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
Veröffentlicht
10.03.2026
Zuschlag am
14.12.2025
Kennung
e2e33bc5-8cbf-4c6d-96b0-bbdfcc3744ce
Quelle
TED (EU-Amtsblatt)

Lose

Zuschlag

Verlauf des Verfahrens

Zum Vergabeportal

Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 12.09.2026, 17:35.