Ergebnis der Vergabe

Deutschland – Trockenätzausrüstung – Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)

900.000 € Geschätzter Wert

2 Bieter

1 Los

Beschreibung

FBH-2025-0141 Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)

Dossier: Zuschlagskriterien, Eignung, Checkliste — mit Konto

Mit einem Konto liest Zuschlagsreif die Vergabeunterlagen dieses Verfahrens und erstellt daraus ein Dossier: Zuschlagskriterien mit Gewichtung, Eignungsanforderungen, Zeitplan und eine Checkliste der einzureichenden Unterlagen.

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Angaben aus der Bekanntmachung

Auftraggeber: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Ort: Berlin
Bundesland: Berlin
CPV: 22520000 — Trockenätzausrüstung
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Veröffentlicht: 31.03.2026
Zuschlag am: 20.03.2026
Kennung: 98728eb4-5ebb-42f5-9027-3129e266a320
Quelle: TED (EU-Amtsblatt)

Lose

Los 0900.000 €

Zuschlag

Oxford Instruments GmbHWiesbaden

Verlauf des Verfahrens

Ausschreibung 24.11.2025
Deutschland – Trockenätzausrüstung – Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)
Ergebnis der Vergabe 31.03.2026
Deutschland – Trockenätzausrüstung – Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)

Zum Vergabeportal

Original-Bekanntmachung

Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 12.09.2026, 17:47.