Ergebnis der Vergabe
Frankreich – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Acquisition, livraison et mise en service d’un bâti de gravure plasma au sein de l’Institut des NanoSciences de Paris (INSP)
Beschreibung
L’Institut des NanoSciences de Paris (INSP) est une unité mixte de recherche du CNRS et de Sorbonne Université. Dans le cadre de ses activités de micro-nanofabrication de dispositifs et de composants, l’INSP souhaite acquérir un bâti de gravure plasma. Les principaux besoins auxquels devra répondre l’équipement sont les suivants: •Gravure de silicium de plusieurs dizaines de micromètres •Gravure profonde de Silicium de plus de 100 µm •Gravure d’oxydes (SiO2, TiO2) plusieurs micromètres •Gravure de métaux <100 nm L’équipement attendu est une machine de gravure par plasma de type RIE-ICP (Reactive Ion Etching – Inductively Coupled Plasma) constitué de deux électrodes qui génèrent un plasma uniforme de haute densité à partir d’une source inductive, et d’une cathode indépendante pour polariser les substrats. L’équipement devra comporter un module de gravure profonde du silicium et un système de détection de fin d’attaque par interférométrie laser. Le présent marché comprend à minima : • L’acquisition • Performances techniques et fonctionnelles minimales attendues de l’instrument • La livraison assurée par le titulaire • L’installation et la mise en service • La formation aux utilisateurs • La garantie contractuelle et support associé Les performances techniques et fonctionnelles minimales attendues de l’équipement sont précisées aux documents de la consultation.
Dossier: Zuschlagskriterien, Eignung, Checkliste — mit Konto
Mit einem Konto liest Zuschlagsreif die Vergabeunterlagen dieses Verfahrens und erstellt daraus ein Dossier: Zuschlagskriterien mit Gewichtung, Eignungsanforderungen, Zeitplan und eine Checkliste der einzureichenden Unterlagen.
Dossier ansehenAngaben aus der Bekanntmachung
- Auftraggeber
- CNRS Délégation Paris-Centre
- Ort
- Paris
- Bundesland
- Ile-de-France
- CPV
- 38000000 — Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
- Verfahrensart
- Offenes Verfahren
- Veröffentlicht
- 19.11.2025
- Zuschlag am
- 22.10.2025
- Kennung
- f0dae220-13d4-424c-87c8-3c65d41fa4b5
- Quelle
- TED (EU-Amtsblatt)
Lose
- Los 1530.000 €
Zuschlag
- PLASMA THERM EUROPEBERNIN
Verlauf des Verfahrens
-
Ausschreibung
28.07.2025
Frankreich – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Acquisition, livraison et mise en service d’un bâti de gravure plasma au sein de l’Institut des NanoSciences de Paris (INSP) -
Ergebnis der Vergabe
19.11.2025
Frankreich – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Acquisition, livraison et mise en service d’un bâti de gravure plasma au sein de l’Institut des NanoSciences de Paris (INSP)
Zum Vergabeportal
Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 12.09.2026, 18:51.