Ergebnis der Vergabe

Belgien – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – LARGE DUAL BEAM (FAB FIB SEM)

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Beschreibung

We are looking for a 300mm wafer ultra-high resolution focused ion beam scanning electron microscope (FIB-SEM) system. The tool should allow for nanometer scale imaging of a cross-section and preparation of precise located and thin TEM lamellae. End-pointing of the cross section as well as location for the TEM lamella needs to be precise within nanometer range on a specific structure. Final achieved thickness of TEM lamella Is required below 30nm to provide minimal overlap within lamella thickness, while still being crystalline and uncontaminated, ready for TEM inspection. The tool needs to be able to load 300mm wafers and have a possibility to load multiple TEM grids on the stage. Grid position needs to allow for lamella preparation in multiple orientations. In-system gas injection for carbon and tungsten deposition is required. In order to increase speed for our current workflow, the tool needs to be able to use automation to perform cross-section analysis and prepare TEM specimen.

Dossier: Zuschlagskriterien, Eignung, Checkliste — mit Konto

Mit einem Konto liest Zuschlagsreif die Vergabeunterlagen dieses Verfahrens und erstellt daraus ein Dossier: Zuschlagskriterien mit Gewichtung, Eignungsanforderungen, Zeitplan und eine Checkliste der einzureichenden Unterlagen.

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Angaben aus der Bekanntmachung

Auftraggeber
Imec EU Pilot line NV
Ort
Heverlee
Bundesland
Vlaams Gewest
CPV
38000000 — Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Verfahrensart
Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb
Veröffentlicht
28.10.2025
Kennung
4b35577c-1bee-4d20-ba36-c535c61a03b8
Quelle
TED (EU-Amtsblatt)

Lose

Zuschlag

Zum Vergabeportal

Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 12.09.2026, 19:12.