Ausschreibung
Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Ionenstrahlätzanlage
Beschreibung
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtstrukturierung und -abscheidung eine Ionenstrahlätz- und Beschichtungsanlage aus, welche zum Ätzen und Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat bis zum 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Ätzprozesse verschiedener metallischer, halbleitender und isolierender Schichten sowie das Abscheiden metallischer und isolierender Schichten ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen). Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.
Dossier: Zuschlagskriterien, Eignung, Checkliste — mit Konto
Mit einem Konto liest Zuschlagsreif die Vergabeunterlagen dieses Verfahrens und erstellt daraus ein Dossier: Zuschlagskriterien mit Gewichtung, Eignungsanforderungen, Zeitplan und eine Checkliste der einzureichenden Unterlagen.
Dossier ansehenAngaben aus der Bekanntmachung
- Auftraggeber
- Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
- Ort
- Jena
- Bundesland
- Thüringen
- CPV
- 38000000 — Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
- Verfahrensart
- Offenes Verfahren
- Veröffentlicht
- 07.08.2025
- Angebotsfrist
- 10.09.2025, 13:00
- Kennung
- 03480a7b-9308-498d-bd16-20c03a6cf69f
- Quelle
- TED (EU-Amtsblatt)
Lose
- Los 1
Verlauf des Verfahrens
-
Ausschreibung
07.08.2025
Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Ionenstrahlätzanlage -
Ergebnis der Vergabe
02.10.2025
Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Ionenstrahlätzanlage
Zum Vergabeportal
Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 12.09.2026, 19:39.