Ergebnis der Vergabe

Dänemark – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – tender for a batch spray tool

978.890 € Zuschlagswert
3 Bieter
1 Los

Beschreibung

DTU Nanolab requires one spray tool equipped with ozone, HF, HCl and NH4OH for wafer cleaning purposes. The tool is to be able to handle batch processing (up to 25 wafers per run). The tool will be used in our ISO 14644-1 Class 4 and 5 clean room. The tool will be used by many different users with diverse backgrounds, which means that operator safety is an important aspect. Another important aspect is the ease of use with special attention on software operation and setup change for different wafer sizes. Please see Appendix 1 Requirement specification for further information.

Analyse: Zuschlagskriterien, Eignung, Checkliste — mit Konto

Mit einem Konto liest Zuschlagsreif die Vergabeunterlagen dieses Verfahrens und erstellt daraus eine Analyse: Zuschlagskriterien mit Gewichtung, Eignungsanforderungen, Zeitplan und eine Checkliste der einzureichenden Unterlagen.

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Angaben aus der Bekanntmachung

Ort
Kgs. Lyngby
Bundesland
Danmark
CPV
38000000 — Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Verfahrensart
Offenes Verfahren
Veröffentlicht
29.08.2025
Zuschlag am
30.07.2025
Kennung
18754cf1-01c6-4d2d-bd89-430d4e5b9e41
Quelle
TED (EU-Amtsblatt)

Lose

Zuschlag

Verlauf des Verfahrens

Zum Vergabeportal

Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 12.09.2026, 19:50.