Ausschreibung
Frankreich – Mikroelektronische Maschinen und Geräte – Fourniture d’un équipement de gravure par plasma 300mm
Zu diesem Verfahren liegt bereits ein Zuschlag vor. Die Frist unten steht so in der Bekanntmachung; vergeben ist der Auftrag trotzdem. Zum Ergebnis
Beschreibung
Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un nouvel outil de gravure par plasma afin de relever les défis technologiques à venir. L'équipement devra comporter une chambre de gravure pour les matériaux de type AlCu et TiN pour des applications FEOL et BEOL. Une chambre de stripping spécifique devra être associée à la chambre de gravure. L’équipement devra pouvoir être complété avec une chambre de gravure multi-matériaux ainsi qu’une chambre de gravure d’oxyde fin. Le marché comporte : • Des options avec chiffrage obligatoire : o Option n°1 : La fourniture d’une chambre multi-matériaux o Option n°2 : La fourniture d’une chambre oxyde de silicium o Option n°3 : La formation de maintenance premier niveau pour 4 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges o Option n°4 : Deuxième année de garantie pour l’Equipement • Des options avec chiffrage facultatif : o Option n°5 : Fourniture d’un chiller conformément à l’article 3.2.6 du cahier des charges o Option n°6 : Fourniture d’un transformateur électrique conformément à l’article 4.1.4 du cahier des charges o Option n°7 : La formation de maintenance avancée pour 2 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges
Analyse: Zuschlagskriterien, Eignung, Checkliste — mit Konto
Mit einem Konto liest Zuschlagsreif die Vergabeunterlagen dieses Verfahrens und erstellt daraus eine Analyse: Zuschlagskriterien mit Gewichtung, Eignungsanforderungen, Zeitplan und eine Checkliste der einzureichenden Unterlagen.
Analyse ansehenAngaben aus der Bekanntmachung
- Auftraggeber
- CEA Grenoble
- Ort
- Grenoble
- Bundesland
- Auvergne-Rhône-Alpes
- CPV
- 31712100 — Mikroelektronische Maschinen und Geräte
- Verfahrensart
- Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
- Veröffentlicht
- 11.07.2025
- Teilnahmefrist
- 18.08.2025, 18:00
- Kennung
- 5df4d207-d680-4796-98bb-72bd17912944
- Quelle
- TED (EU-Amtsblatt)
Lose
- Los 1
Verlauf des Verfahrens
-
Ausschreibung
11.07.2025
Frankreich – Mikroelektronische Maschinen und Geräte – Fourniture d’un équipement de gravure par plasma 300mm -
Ergebnis der Vergabe
31.03.2026
Frankreich – Mikroelektronische Maschinen und Geräte – Fourniture d’un équipement de gravure par plasma 300mm
Zum Vergabeportal
Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 12.09.2026, 19:58.