Ausschreibung

Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Plasma Ashing System

11.07.2025 Angebotsfrist · abgelaufen

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Beschreibung

The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.

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Angaben aus der Bekanntmachung

Auftraggeber: Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften
Ort: Garching
Bundesland: Bayern
CPV: 38000000 — Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Veröffentlicht: 05.06.2025
Angebotsfrist: 11.07.2025, 12:00
Kennung: 5b0523ad-2b6c-48bf-bea6-5c7a87d9e7ea
Quelle: TED (EU-Amtsblatt)

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Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 12.09.2026, 20:15.