Ausschreibung
Belgien – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – BEOL ETCH PLATFORM
Zu diesem Verfahren liegt bereits ein Zuschlag vor. Die Frist unten steht so in der Bekanntmachung; vergeben ist der Auftrag trotzdem. Zum Ergebnis
Beschreibung
Its object is the supply and commissioning of a new BEOL Etch Cluster. • 300mm Dry Etch/Strip Platform containing 3 Process Modules as described below: • Metal Dry Etcher capable of Metal, Metal Oxides and various HM (Hard Mask) etches • Deep Si Etcher capable of TSV (Through-Silicon Via) • Dry Stripper or Asher with water vapor passivation capability These Process Modules are targeted for various BEOL Applications from legacy technology nodes up to N3 and beyond. The contract will be awarded based on the best quality-price ratio, the award criteria will be further detailed in the tender documents.
Analyse: Zuschlagskriterien, Eignung, Checkliste — mit Konto
Mit einem Konto liest Zuschlagsreif die Vergabeunterlagen dieses Verfahrens und erstellt daraus eine Analyse: Zuschlagskriterien mit Gewichtung, Eignungsanforderungen, Zeitplan und eine Checkliste der einzureichenden Unterlagen.
Analyse ansehenAngaben aus der Bekanntmachung
- Auftraggeber
- Imec EU Pilot line NV
- Ort
- Heverlee
- CPV
- 38000000 — Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
- Verfahrensart
- Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
- Veröffentlicht
- 01.04.2025
- Teilnahmefrist
- 08.04.2025, 14:00
- Kennung
- 139628b8-0ccd-4ef5-b51e-fcc46917213a
- Quelle
- TED (EU-Amtsblatt)
Lose
- Los 1
Verlauf des Verfahrens
-
Ausschreibung
01.04.2025
Belgien – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – BEOL ETCH PLATFORM -
Ergebnis der Vergabe
30.09.2025
Belgien – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – BEOL etch platform
Zum Vergabeportal
Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 12.09.2026, 20:47.