Ergebnis der Vergabe

Frankreich – Öfen und Zubehör – Acquisition d'une machine de dépôt chimique en phase vapeur par injection liquide (DLI-CVD)

126.249 € Zuschlagswert
1 Bieter
1 Los

Beschreibung

L’Unité Mixte de Recherche CNRS n°6174 (FEMTO-ST) souhaite acquérir une machine de dépôt chimique en phase vapeur par injection de liquide, capable de répondre aux exigences avancée en matière de dépôt de couches minces (oxydes et métaux nobles), de croissance de couches minces d’épaisseur atomique contrôlée et conforme sur des structures 3D (ALD), de procédés CVD/ALD assistés par plasma micro-ondes, ainsi que le traitement thermique rapide, pour des applications scientifiques et de recherche et développement.

Analyse: Zuschlagskriterien, Eignung, Checkliste — mit Konto

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Angaben aus der Bekanntmachung

Ort
Vandoeuvre-lès-Nancy
Bundesland
Bourgogne-Franche-Comté
CPV
42942000 — Öfen und Zubehör
Verfahrensart
Offenes Verfahren
Veröffentlicht
22.04.2025
Zuschlag am
31.03.2025
Kennung
3f448a54-3d75-4ad1-905d-6e9f74ce3e7e
Quelle
TED (EU-Amtsblatt)

Lose

Zuschlag

Verlauf des Verfahrens

Zum Vergabeportal

Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 12.09.2026, 21:01.