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Ergebnis der Vergabe

Deutschland – Laser – MemLog GmbH: SEM_FIB_TOF-SIMS Tool

1 Bieter
1 Los

Beschreibung

Das SEM_FIB_TOF-SIMS Tool erlaubt alle hergestellten Schichten und Strukturen hinsichtlich ihrer Abmessungen und chemischer Zusammensetzung umfassend zu charakterisieren. Die Methoden Scanning Electron Microscopy (SEM) und Scanning Transmission Electron Microscopy (STEM ) ermöglichen laterale Auflösungen bis unter 1 nm, so dass selbst die kleinsten Strukturen abgebildet werden können. Die im Gerät vorhandene Focused Ion Beam (FIB)-Technik wird für die Querschnittspräparation eingesetzt, so dass eine 3-dimensionale Strukturabbildung ermöglich wird und Lamellen für STEM präpariert werden können. Die chemische Zusammensetzung der Schichten und Strukturen kann mit den ebenfalls vorhandenen Methoden Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy (EDX) und (Time of Flight Secondary Ion Mass Spectroscopy (TOF-SIMS) bestimmt werden. EDX und TOF-SIMS ergänzen sich hervorragend bei der Analytik, wobei EDX vorrangig für die quantitative chemische Analyse gebraucht wird und TOF-SIMS den Nachweis von chemischen Verbindungen bis hin zu äußerst geringen Konzentrationen erlaubt. Das SEM_FIB_TOF-SIMS Tool kann so auch zur Partikel- und physikalischen Fehleranalyse an fertig prozessierten Schichtsystemen und Strukturen eingesetzt werden

Analyse: Zuschlagskriterien, Eignung, Checkliste — mit Konto

Mit einem Konto liest Zuschlagsreif die Vergabeunterlagen dieses Verfahrens und erstellt daraus eine Analyse: Zuschlagskriterien mit Gewichtung, Eignungsanforderungen, Zeitplan und eine Checkliste der einzureichenden Unterlagen.

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Angaben aus der Bekanntmachung

Auftraggeber
MemLog GmbH
Ort
Leipzig
Bundesland
Sachsen
CPV
38636100 — Laser
Verfahrensart
Offenes Verfahren
Veröffentlicht
10.01.2024
Kennung
ccb8171e-062d-4f00-80e2-ccad2d86477d
Quelle
TED (EU-Amtsblatt)

Lose

Verlauf des Verfahrens

Zum Vergabeportal

Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 10.01.2024, 01:00.