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Ergebnis der Vergabe

Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Maskenjustageanlage IZHH

1 Bieter
1 Los

Beschreibung

Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Gegenstand dieser Ausschreibung ist insofern eine Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum in Form einer Maskenjustageanlage (auch Maskenpositionierer, Maskenausrichter). Die Prozesskette umfasst unter anderem Reinigung, Belackung, Belichtung und Entwicklung von Halbleitersubstraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Bei dem anzubietenden Gerät handelt es sich um ein UV Lithographie-Gerät zur hochpräzisen Ausrichtung von Fotomasken und der Belichtung von belackten Halbleitersubstraten mit Strukturen im Mikrometerbereich. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und eine Schulung. Darüber hinaus sind Service- und Wartungsleistungen zu erbringen.

Analyse: Zuschlagskriterien, Eignung, Checkliste — mit Konto

Mit einem Konto liest Zuschlagsreif die Vergabeunterlagen dieses Verfahrens und erstellt daraus eine Analyse: Zuschlagskriterien mit Gewichtung, Eignungsanforderungen, Zeitplan und eine Checkliste der einzureichenden Unterlagen.

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Angaben aus der Bekanntmachung

Auftraggeber
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Ort
Köln
Bundesland
Hamburg
CPV
38000000 — Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Verfahrensart
Offenes Verfahren
Veröffentlicht
16.02.2024
Kennung
9c66a78a-4659-4ef1-a3fa-fa1ce7eef2ce
Quelle
TED (EU-Amtsblatt)

Lose

Zuschlag

Einordnung

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) im Bestand

1.714 Ausschreibungen (davon 1.103 Ergebnisse)
3,1 Ø Bieterzahl (510 Ergebnisse)
401.376 € Median Zuschlagswert (372 Zuschläge)
30,1 Tage Ø Tage bis zur Frist (576 Ausschreibungen)

Auftraggeberprofil: alle Verfahren und Kennzahlen

Quelle: veröffentlichte Bekanntmachungen dieses Auftraggebers aus den angebundenen Vergabeportalen, Stand 10.10.2026.

Vergleichbare Verfahren: Labor- und Messtechnik in Hamburg

129 Zuschläge vom 01.11.2024 bis 10.10.2026
1,0 Median Bieterzahl (92 Zuschläge mit Angabe)
315.300 € Median Zuschlagswert (55 Zuschläge mit Wert)
51 Tage Median von Bekanntmachung bis Zuschlag (33 Verfahren)

Quelle: veröffentlichte Zuschlagsbekanntmachungen derselben CPV-Abteilung (38) im Bestand von Zuschlagsreif; Werte, die ein Portal nicht veröffentlicht, fehlen in der jeweiligen Zahl. Stand der Auswertung: 10.10.2026. Alle Zuschläge

Zum Vergabeportal

Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 16.02.2024, 01:00.