Ergebnis der Vergabe
Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – WDH - Maskless Aligner
Beschreibung
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Photolithographie einen Maskless Aligner aus, welcher zur maskenlosen Belichtung von Photoresistschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchip bis zum 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind Strukturauflösungen bis 600 nm Linienbreite (CD) im Resist, präzise Mehrebenen-Justage mit bis zu 250 nm Überdeckungsgenauigkeit und Schreibgeschwindigkeiten, die Belichtungsanzahlen von mind. 1000 Wafer pro Jahr ermöglichen.
Analyse: Zuschlagskriterien, Eignung, Checkliste — mit Konto
Mit einem Konto liest Zuschlagsreif die Vergabeunterlagen dieses Verfahrens und erstellt daraus eine Analyse: Zuschlagskriterien mit Gewichtung, Eignungsanforderungen, Zeitplan und eine Checkliste der einzureichenden Unterlagen.
Analyse ansehenAngaben aus der Bekanntmachung
- Auftraggeber
- Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
- Ort
- Jena
- Bundesland
- Thüringen
- CPV
- 38000000 — Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
- Verfahrensart
- Offenes Verfahren
- Veröffentlicht
- 18.06.2024
- Zuschlag am
- 14.06.2024
- Kennung
- aaa004ff-047e-4efd-9eb7-16a7d89c2d13
- Quelle
- TED (EU-Amtsblatt)
Lose
- Los 1
Zuschlag
- Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbHHeidelberg
Zum Vergabeportal
Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 18.06.2024, 02:00.