Ergebnis der Vergabe
DRIE etch cluster (Mainframe + 3 Chambers) (IPMS-MRS07.1; IPMS-MRS07.2; IPMS-MRS08.1; IPMS-MRS08.2) - PR882587-2480-P
Beschreibung
DRIE etch cluster (Mainframe + 3 Chambers) (IPMS-MRS07.1; IPMS-MRS07.2; IPMS-MRS08.1; IPMS-MRS08.2)
Dossier: Zuschlagskriterien, Eignung, Checkliste — mit Konto
Mit einem Konto liest Zuschlagsreif die Vergabeunterlagen dieses Verfahrens und erstellt daraus ein Dossier: Zuschlagskriterien mit Gewichtung, Eignungsanforderungen, Zeitplan und eine Checkliste der einzureichenden Unterlagen.
Dossier ansehenAngaben aus der Bekanntmachung
- Auftraggeber
- Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Ort
- München
- Bundesland
- Bayern
- CPV
- 42990000 — Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
- Veröffentlicht
- 17.07.2026
- Zuschlag am
- 22.12.2025
- Kennung
- 16cd6b5a-0dcb-4fc9-b5f2-a81ac88a965b
- Quelle
- oeffentlichevergabe.de (Bund)
Zuschlag
- KLA Corporation
Verlauf des Verfahrens
-
Ausschreibung
14.04.2025
Deutschland – Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke – DRIE etch cluster (Mainframe + 3 Chambers) (IPMS-MRS07.1; IPMS-MRS07.2; IPMS-MRS08.1; IPMS-MRS08.2) - PR882587-2480-P -
Ergebnis der Vergabe
17.07.2026
DRIE etch cluster (Mainframe + 3 Chambers) (IPMS-MRS07.1; IPMS-MRS07.2; IPMS-MRS08.1; IPMS-MRS08.2) - PR882587-2480-P -
Ergebnis der Vergabe
20.07.2026
Deutschland – Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke – DRIE etch cluster (Mainframe + 3 Chambers) (IPMS-MRS07.1; IPMS-MRS07.2; IPMS-MRS08.1; IPMS-MRS08.2) - PR882587-2480-P
Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 11.09.2026, 18:00.