Zuschlagsreif

Ergebnis der Vergabe

Deutschland – Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke – Process Monitoring Tool

1 Los

Beschreibung

Upgrade of the existing process monitoring system mesc21-11 (Nanofocus topography measurement system serial number 700259) located at Fraunhofer IPMS CNT An der Bartlake 5. Upgrade cosists of an automatic handling system for wafers in a seperately enclosed environment. The system is capable of handling wafers from a SEMI 300 mm FOUP to the existing measurement tool. The system is also able to introduce 200 mm Wafers into a suitable adapter enabling processing on standard 300 mm tools and handle the 200 mm wafers in adapter into a SEMI standard 300 mm FOUP.

Dossier: Zuschlagskriterien, Eignung, Checkliste — mit Konto

Mit einem Konto liest Zuschlagsreif die Vergabeunterlagen dieses Verfahrens und erstellt daraus ein Dossier: Zuschlagskriterien mit Gewichtung, Eignungsanforderungen, Zeitplan und eine Checkliste der einzureichenden Unterlagen.

Dossier ansehen

Angaben aus der Bekanntmachung

Auftraggeber
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
Ort
Erlangen
Bundesland
Sachsen
CPV
42990000 — Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Verfahrensart
Offenes Verfahren
Veröffentlicht
12.01.2026
Kennung
a4bb8f76-da0a-40bb-8d54-dc44b1981ae6
Quelle
TED (EU-Amtsblatt)

Lose

Verlauf des Verfahrens

Zum Vergabeportal

Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 12.09.2026, 18:09.