Ausschreibung
Deutschland – Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke – Process Monitoring Tool
Beschreibung
Upgrade of the existing process monitoring system mesc21-11 (Nanofocus topography measurement system serial number 700259) located at Fraunhofer IPMS CNT An der Bartlake 5. Upgrade cosists of an automatic handling system for wafers in a seperately enclosed environment. The system is capable of handling wafers from a SEMI 300 mm FOUP to the existing measurement tool. The system is also able to introduce 200 mm Wafers into a suitable adapter enabling processing on standard 300 mm tools and handle the 200 mm wafers in adapter into a SEMI standard 300 mm FOUP.
Dossier: Zuschlagskriterien, Eignung, Checkliste — mit Konto
Mit einem Konto liest Zuschlagsreif die Vergabeunterlagen dieses Verfahrens und erstellt daraus ein Dossier: Zuschlagskriterien mit Gewichtung, Eignungsanforderungen, Zeitplan und eine Checkliste der einzureichenden Unterlagen.
Dossier ansehenAngaben aus der Bekanntmachung
- Ort
- Erlangen
- Bundesland
- Sachsen
- CPV
-
42990000 — Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Weitere: 38500000 - Verfahrensart
- Offenes Verfahren
- Veröffentlicht
- 29.10.2025
- Angebotsfrist
- 02.12.2025, 10:00
- Kennung
- a4bb8f76-da0a-40bb-8d54-dc44b1981ae6
- Quelle
- TED (EU-Amtsblatt)
Lose
- Los 1
Verlauf des Verfahrens
-
Ausschreibung
29.10.2025
Deutschland – Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke – Process Monitoring Tool -
Ergebnis der Vergabe
12.01.2026
Deutschland – Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke – Process Monitoring Tool
Zum Vergabeportal
Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 12.09.2026, 19:13.